伴隨著芯片的集成度越來越高,半導(dǎo)體制造的先進(jìn)程度也逐漸提升。在芯片半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工過程中要不斷用水清洗,對水質(zhì)的純度要求特別高,要求達(dá)到ppb級別,所以為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外,超純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。
半導(dǎo)體包括芯片,存儲器等產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中需要經(jīng)歷上百道清洗程序,而為保證半導(dǎo)體精度,其工藝技術(shù)中要求用到純水清洗,清洗所需的超純水必須達(dá)到電子級,為了避免其中混入雜質(zhì),而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品功能,進(jìn)而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能及壽命。
超聲波傳感器恰恰解決了這個問題,超聲波傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸測量,不僅做到非接觸測量,減少二次污染,還有超聲波傳感器特有的自適應(yīng)功能及濾波功能,達(dá)到精準(zhǔn)的液位檢測。
因此對工業(yè)清洗半導(dǎo)體的純水主要儲存在其內(nèi)部的儲水罐中對于其液位的控制非常重要,要求純水的液位高度保持恒定。而且是透明的特殊這一特性,其它的傳感器也很難做到如此有效精確檢測。
半導(dǎo)體生產(chǎn)線儲水罐里面的原料是純水,透明且不帶導(dǎo)電性,要求無污染,還要求傳感器要做到精確檢測;除此之外存放純水的儲水罐是個封閉的容器,有些儲水罐里面帶有攪拌機(jī)構(gòu)以及進(jìn)水泵和出水泵,導(dǎo)致其液位或者料位在攪拌的過程中會波動,這也為準(zhǔn)確測量液位或料位帶來困難。
利用超聲波傳感器實時監(jiān)控液位的高度,以此來保持儲水罐的水位高度恒定,從而跟進(jìn)純水的特性。
關(guān)于超聲波傳感器
超聲波傳感器是將超聲波信號轉(zhuǎn)換成其他能量信號(通常是電信號)的傳感器。超聲波是振動頻率高于20kHz的機(jī)械波。它具有頻率高、波長短、繞射現(xiàn)象小,特別是方向性好、能夠成為射線而定向傳播等特點。超聲波對液體、固體的穿透本領(lǐng)很大,尤其是在陽光不透明的固體中。超聲波碰到雜質(zhì)或分界面會產(chǎn)生顯著反射形成反射回波,碰到活動物體能產(chǎn)生多普勒效應(yīng)。















